图形转移系列

蚀刻护岸剂

适合精细线路制作，减成法可以达到30/30μm线路制作，相比mSAP工艺费用低、流程简单、制程稳定、良率高。

性能特点

适合精细线路制作，减成法可以达到30/30μm线路制作。
相比mSAP工艺，费用低，无需增加设备投资，直接现有设备添加使用。
相比mSAP工艺，流程简单，和现有流程兼容，无需变更制作流程。
配方成熟，制程稳定，精细线路良率高。

处理效果 / 应用说明

蚀刻后线路截面尺寸测量（护岸剂添加前，EF=3.8）。

蚀刻后线路截面尺寸测量（护岸剂添加后，EF=9.0）。